Фотолитографические технологии в производстве оптических деталей : учебное пособие
Дерябин, В. А.
Изложены основы фотолитографии, виды и способы изготовления оптических шкал. Рассмотрены оптические детали, требующие формирования топологии на поверхности. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Оптотехника», аспирантов и научных сотрудников, интересующихся фотолитографическими технологиями.
Năm:
2014
Nhà xuát bản:
Издательство Уральского университета
Ngôn ngữ:
russian
Trang:
54
ISBN 10:
5799611101
ISBN 13:
9785799611101
File:
PDF, 993 KB
IPFS:
,
russian, 2014